「高校化学 水素と貴ガス」の版間の差分
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→※ 範囲外:: レーザーについて、実は『科学と人間生活』で啓林館が紹介している |
※ 第一学習社の『科学と人間生活』で紹介されている、集積回路などの製造などで使われている波長197ナノメートルの紫外線レーザー光の正体は、このArF(アルゴンフッ素)のエキシマレーザーのこと。 |
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この ArF の光の波長は197nmとかなり小さいので、半導体などの微細加工に便利なので、放電管に放電をしつづけることでArFの紫外光をレーザーの光源として活用して、半導体製造のさいの光化学反応の光源に使われている。
:※ 第一学習社の『科学と人間生活』で紹介されている、集積回路などの製造などで使われている波長197ナノメートルの紫外線レーザー光の正体は、このArF(アルゴンフッ素)のエキシマレーザーのこと。
Arのほか、キセノンでも
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