「高校化学 水素と貴ガス」の版間の差分
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また、エキシマから放出された光をレーザー光として活用したものをエキシマレーザーという。ArFのエキシマレーザーは半導体製造などに利用されている。
なお、Ar<sub>2</sub>のエキシマの波長はさらに短く波長 157nm であることが知られているが、しかし酸素と反応しやすいなどの特性により過去に半導体産業では開発が難航したため、半導体産業ではAr<sub>2</sub>は半導体製造用の光源としては用いられていない。（※ 参考文献: 岡崎信次ほか、『はじめての半導体リソグラフィ技術』、技術評論社、2016年 初版 第2刷、91ページ、）
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